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日経マイクロデバイス　第202号　2002.4.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第202号（2002.4.1）
ページ数	3ページ　（全2966字）
形式	PDFファイル形式　（130kb）
雑誌掲載位置	119〜121ページ目

ＦＰＤ■露光装置「キヤノン　ＭＰＡ−７５００」　基板寸法が１１００×１２５０ｍｍ２の液晶パネル生産ラインを対象にしたＴＦＴアレイ基板向け露光装置（図１）。従来の装置は１０００×１２００ｍｍ２基板までしか対応していなかった。対応基板寸法の拡大によって，スループットを１５型（対角３８ｃｍ）パネルで約１．２５倍，１７型（対角４３ｃｍ）パネルで約１．３３倍，１９型（対角４８ｃｍ）パネルで約１．５倍にそれぞ…