産業ウオッチャ〜ニコンがオランダASMLを 米国で提訴,特許侵害で 輸入差し止めを請求
日経マイクロデバイス 第200号 2002.2.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第200号(2002.2.1) |
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ページ数 | 1ページ (全608字) |
形式 | PDFファイル形式 (41kb) |
雑誌掲載位置 | 25ページ目 |
米国特許訴訟露光装置 ニコン及び米国子会社の米Nikon Precision Inc.,米Nikon Research Corporation of Americaの3社は,オランダASM Lithography(ASML)社及びその持ち株会社であるオランダASM Lithography Holding N.V.,米国子会社の米ASM Lithography, Inc.の3社を2001年12月21…
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