技術レター〜ウエーハ・レベルＣＳＰに　高周波インダクタを　内蔵する技術を開発
日経マイクロデバイス　第198号　2001.12.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第198号（2001.12.1）
ページ数	1ページ　（全341字）
形式	PDFファイル形式　（26kb）
雑誌掲載位置	39ページ目

ウエーハ・　レベルＣＳＰ高周波　インダクタ　ウエーハ・レベルＣＳＰ（ｃｈｉｐ　ｓｉｚｅ　ｐａｃｋａｇｅ）に高周波インダクタを内蔵する技術を，ＩＥＰテクノロジーズと電気通信大学が共同で開発した。通信機器の小型・高密度化への需要を背景に，高周波特性に優れたＣＳＰ技術は注目されている。今回は，高周波領域におけるＣＳＰの電気的特性を明らかにするとともに，高周波インダクタの内蔵化に取り組んだ。まず，ＣＳＰの…