μレポート［パッケージ］〜高速・多ピン化に対応し 従来の概念と異なる プローブ端子を開発
日経マイクロデバイス 第182号 2000.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第182号（2000.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1225字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （33kb） |
| 雑誌掲載位置 | 55ページ目 |
検査装置プローブ・カードＣＳＰＬＳＩの高速・多ピン化に対応して，従来の概念とは全く異なるウエーハ検査向けプローブ端子を，日本マイクロニクスが開発した。プローブ端子の先端をピラミッド状に加工し，絶縁フィルム上に形成した。従来のプローブ端子に比べて，動作周波数の高速化が可能で，しかも端子を面配置で狭ピッチ化できるため多ピンに対応しやすい。同社は２００１年の量産化を目指す。 従来のプローブ端子には３通り…
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