NewsLetter LCD〜薬液量を1/10以下に できる塗布装置の販売権を 島津製作所が獲得
日経マイクロデバイス 第179号 2000.5.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第179号(2000.5.1) |
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ページ数 | 1ページ (全206字) |
形式 | PDFファイル形式 (35kb) |
雑誌掲載位置 | 170ページ目 |
製造装置ガラス基板提携 島津製作所が米FAS Technologies, Ltd.と提携,FAS Technologiesの塗布装置の日本での販売権を獲得した。韓国,台湾での販売権に関しては交渉中。この塗布装置は,薬液量を従来の1/10以下に削減できる特徴を持つ。従来のスピンコート方式のように基板を回転させずに済むため,1m角を超える大型液晶ガラス基板に対応できる。塗布量の面内均一性は3%以下とす…
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