NewsLetter LSI(ロジック)〜米Novellusと米KLA−Tencor Cu配線のアライアンスで 見解が分かれる
日経マイクロデバイス 第168号 1999.6.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第168号(1999.6.1) |
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ページ数 | 1ページ (全227字) |
形式 | PDFファイル形式 (44kb) |
雑誌掲載位置 | 155ページ目 |
製造装置Cu配線提携 米KLA−Tencor Corp.が米Novellus Systems, Inc.のCu配線技術「Damascus」のアライアンスに属しているか否かについて,現状では両社の見解が分かれている。KLA−Tencorは「Novellusとは他の製造装置メーカーと同レベルの協力関係を続ける」と本誌に対して明らかにした。一方,Novellus Systemsは「現在交渉を進めている」…
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