ＰＩＣＫ　ＵＰ〜センサー性能は２４倍、単結晶薄膜を基板に張った機能材料　ほか
日経ものづくり　第817号　2022.10.1

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掲載誌	日経ものづくり　第817号（2022.10.1）
ページ数	9ページ　（全5490字）
形式	PDFファイル形式　（558kb）
雑誌掲載位置	98〜106ページ目

新製品　ＯＫＩとＫＲＹＳＴＡＬ（山口県宇部市）は、圧電効果の高い物質の単結晶薄膜をＬＳＩの材料に接着剤なしで張った「圧電単結晶薄膜接合ウエハー」を試作し、これを使った超音波センサーが従来の２４倍の感度を得たと発表した。厚さ１〜２μｍ、大きさ数十μｍ〜数ｍｍの多数の圧電単結晶薄膜を、ＳＯＩ（Ｓｉｌｉｃｏｎ　ｏｎ　Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）ウエハーの他、ガラスや有機材料などの基板に張り付け、ＭＥＭＳ用のセン…