レポート〜牧野フライスが新型レーザー加工機 微細加工向けで半導体需要など狙う
日経ものづくり 第816号 2022.9.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第816号(2022.9.1) |
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ページ数 | 1ページ (全1026字) |
形式 | PDFファイル形式 (274kb) |
雑誌掲載位置 | 32ページ目 |
牧野フライス製作所は、超短パルスレーザー加工機「LUMINIZER(ルミナイザー) LF400」を発売した(図1)。フェムト秒レーザーを採用し、μmオーダーの微小形状の加工に向く。半導体製造装置や医療機器分野などの部品加工を想定する。価格は装置構成で異なり、「1台当たり約1億円以上」(同社)。年間10台の販売を目指す。 フェムト秒レーザーは照射時間が短く、熱拡散を抑えられるため、照射部分の変質や…
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