事故は語る〜半導体製造工場で９２時間の火災　難燃材だったはずの装置きょう体に延焼か
日経ものづくり　第806号　2021.11.1

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掲載誌	日経ものづくり　第806号（2021.11.1）
ページ数	5ページ　（全6131字）
形式	PDFファイル形式　（1516kb）
雑誌掲載位置	72〜76ページ目

２０２０年１０月２０日１６時４０分ごろ、旭化成のグループ会社で火災事故が発生した。事故が起こったのは、旭化成マイクロシステム（東京・千代田）の生産センター第二製造部半導体工場（宮崎県延岡市）。５階建ての工場のうち３〜５階が焼損し、３、４階にあったクリーンルーム内の生産装置と付帯設備が焼け、生産が止まった。　火災発生時、旭化成マイクロシステムの生産センター第二製造部半導体工場内にいた４人の従業員が出…