レポート〜目視で分からない傷をくっきり見せる　東芝の新外観検査技術
日経ものづくり　第783号　2019.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第783号（2019.12.1）
ページ数	2ページ　（全1756字）
形式	PDFファイル形式　（608kb）
雑誌掲載位置	38〜39ページ目

　東芝は、目視や通常の画像検査では検出しにくい小さな傷や異物を可視化する「ワンショット光学検査技術」を開発した。被測定物（ワーク）の表面状態に応じて生じる光のわずかな散乱光を検出して色の違いで識別できるようにする（図１）。深さ数μｍ程度の浅い傷や異物を判別できるという。同社は同技術を、２０１９年１１月７、８日に開催したプライベート展示会「ＴＯＳＨＩＢＡ　ＯＰＥＮ　ＩＮＮＯＶＡＴＩＯＮ　ＦＡＩＲ　２…