新製品〜［走査電子顕微鏡］［万能試験機］
日経ものづくり　第684号　2011.9.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第684号（2011.9.1）
ページ数	1ページ　（全775字）
形式	PDFファイル形式　（200kb）
雑誌掲載位置	127ページ目

測定装置走査電子顕微鏡　「ＪＳＭ−７８００Ｆ」は、高分解能と測定時間の短縮を両立させた電界放出型走査電子顕微鏡。新たに開発した「スーパーハイブリッド対物レンズ」によって、試料に負荷となる加圧電圧を低減しながら高い分解能を確保している。分解能は０．８ｎｍ　（加圧電圧１５ｋＶ）、１．２ｎｍ　（同１ｋＶ）。従来機は１．０ｎｍ（同１５ｋＶ）、１．５ｎｍ（１ｋＶ）だった。　大電流を流しても電子プローブ径を最…