新製品〜［微細気泡発生装置］
日経ものづくり　第682号　2011.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第682号（2011.7.1）
ページ数	1ページ　（全594字）
形式	PDFファイル形式　（135kb）
雑誌掲載位置	116ページ目

生産加工微細気泡発生装置　「ＦＺ１Ｎ−０２形」は、直径１００ｎｍ前後の微細気泡を連続的かつ安定的に生成できる微細気泡発生装置。半導体や液晶パネル、太陽光パネルなどの製造時の洗浄や剥離に加え、食品や薬品の殺菌、新機能材料製造時の反応促進といった分野への応用も可能だ。価格は２３５万円（税別）。　同装置は、圧縮機を使わずに微細気泡を生成する新技術「ｎａｎｏＧＡＬＦ」を適用したもの。これは、加圧管路で液体…