新製品 気体流量コントローラ〜最小0〜5mL/分の微小流量に対応真空蒸着装置で使える
日経ものづくり 第641号 2008.2.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第641号(2008.2.1) |
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ページ数 | 1ページ (全633字) |
形式 | PDFファイル形式 (1032kb) |
雑誌掲載位置 | 176ページ目 |
生産加工気体流量コントローラ「CMQ−V微小流量モデル」は,微小流量の空気や酸素,窒素(N2),アルゴン(Ar)に適した気体流量コントローラ。新開発のMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)センサを採用することで,微小流量域に対応した。制御範囲が0〜5mL/分の機種と,0〜20mL/分の機種があり,価格は18万円(税別)から。水晶振動子やレンズなど,携帯電話機や…
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