特集　世界一への挑戦〜「派手にやってくれたな」
日経ものづくり　第641号　2008.2.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第641号（2008.2.1）
ページ数	5ページ　（全7154字）
形式	PDFファイル形式　（1239kb）
雑誌掲載位置	62〜66ページ目

半導体製造装置の真空プロセスチャンバの前後には，ウエハーを出し入れするロードロック（真空予備）室と呼ぶ部屋がある。出し入れのときにチャンバ全体ではなくこの部屋だけ大気圧と真空の状態を切り替える。これで，チャンバの汚染防止と生産性向上という一石二鳥を狙おうというものだ。この仕組みの要となるのが，ロードロック室に取り付けるディフューザ（拡散器）と呼ぶ部品。現在，その性能において，コバレントマテリアルの…