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日経ものづくり 第632号 2007.5.1
| 掲載誌 | 日経ものづくり 第632号（2007.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2701字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （303kb） |
| 雑誌掲載位置 | 129〜130ページ目 |
３月２３日産総研，ウエハー状の大型単結晶ダイヤモンドを大量生産できる技術を開発 産業技術総合研究所（産総研）ダイヤモンド研究センター単結晶基板開発チームは，種結晶から薄板状のダイヤモンド単結晶を直接作る「ダイレクトウェハ化技術」と名付けた技術と，成長方向を順次変えて気相合成（ＣＶＤ）を繰り返すことで結晶を大型化する技術を組み合わせた，大型単結晶ダイヤモンド・ウエハー製造技術を開発した。ダイヤモンド…
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