新製品　コントローラ〜センサヘッドに低／高圧用を追加　わずかな差も検知可能に
日経ものづくり　第628号　2007.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第628号（2007.1.1）
ページ数	1ページ　（全702字）
形式	PDFファイル形式　（978kb）
雑誌掲載位置	149ページ目

「分離形多チャンネル圧力センサコントローラ」は，バキュームパッドで微小なワークを吸着して搬送する際に，未吸着か吸着かを圧力差によって検知するコントローラ。今回センサヘッドに，−１００ｋ〜＋２２０ｋＰａに対応する「ＰＳＵ−ＥＲ」シリーズと，−１００ｋ〜＋１０００ｋＰａに対応する「同ＥＭ」シリーズを追加した。　半導体用チップなど微小なワークを搬送する場合は圧力差が小さいため，従来のセンサヘッドでは検出…