新製品　駆動位置決めステージ〜超音波モータで駆動し　繰り返し位置決め精度５ｎｍ実現
日経ものづくり　第625号　2006.10.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第625号（2006.10.1）
ページ数	1ページ　（全747字）
形式	PDFファイル形式　（1289kb）
雑誌掲載位置	180ページ目

「ＵＳ１２０−Ｈ５」は，繰り返し位置決め精度５ｎｍの位置決めステージシステム。従来の位置決めステージシステムの繰り返し位置決め精度１０ｎｍを半分にした。高精細化，超微細化が進む次世代半導体，次世代光ディスクなどの研究開発用途での適用を見込む。　最大の特徴は超音波モータを駆動源としたこと。超音波モータは摩擦力によって駆動し，応答性が高く，高精度に起動・停止できる。無通電の停止した状態でも保持力がある…