新製品 デジタル・マスフロー・コントローラ〜高応答センサの内蔵で速度が向上 300msで気体流量を制御
日経ものづくり 第618号 2006.3.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第618号(2006.3.1) |
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ページ数 | 1ページ (全284字) |
形式 | PDFファイル形式 (710kb) |
雑誌掲載位置 | 167ページ目 |
「CMQ−V」シリーズは,300ms以下で気体の流量を制御するデジタル・マスフロー・コントローラ。1msで応答する微小熱式流速センサ「マイクロフローセンサ」を搭載することで,応答性能を高めた。空気や窒素,酸素,アルゴンなどに対応する。 精度についても1%FSから0.5%FSに高めた。全閉状態から設定流量に調整したり,設定値を変更したりする場合でも高速で制御できる。価格は15万〜60万円(税別)。連…
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