新製品　顕微鏡用深紫外線観察システム〜顕微鏡用深紫外線観察システム
日経ものづくり　第617号　2006.2.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第617号（2006.2.1）
ページ数	1ページ　（全325字）
形式	PDFファイル形式　（530kb）
雑誌掲載位置	167ページ目

「Ｕ−ＵＶＦ２４８」は，０．０８μｍの解像度を持つ顕微鏡用深紫外線観察システム。従来，深紫外線観察には専用の顕微鏡が必要だったが，このシステムを通常の光学顕微鏡に付け加えれば，専用顕微鏡と同様の深紫外線観察が可能。半導体やＦＰＤの検査に使える。　波長が２４８ｎｍの深紫外線に最適化した光学系を開発。接着剤を使わずにレンズを積み重ねた「無接合レンズ」の採用で，深紫外線照射によるレンズ性能の劣化を防いだ…