新製品　顕微鏡制御ステーション〜カーボン・ナノチューブをプローブに適用　急峻な表面形状の高精度な観察も可能に
日経ものづくり　第611号　2005.8.1

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掲載誌	日経ものづくり　第611号（2005.8.1）
ページ数	1ページ　（全448字）
形式	PDFファイル形式　（721kb）
雑誌掲載位置	175ページ目

「ＮａｎｏＮａｖｉ」は，走査型プローブ顕微鏡システムを制御するプローブ・ステーション。従来のプローブ顕微鏡では測れなかった，大きな段差のある形状も測定できる。　カンチレバーの先端のシリコン製チップの先に，さらにカーボン・ナノチューブを取り付けた。これは「先端に向かって細くなる鉛筆の芯の先にシャープペンシルの芯を足すようなもの」（同社）で，狭い個所にも入れる。　従来の走査方法でこのプローブを使用した…