新製品　工業用顕微鏡〜暗視野観察性能を従来の４倍に高め　高精度な欠陥検出を可能に
日経ものづくり　第608号　2005.5.1

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掲載誌	日経ものづくり　第608号（2005.5.1）
ページ数	1ページ　（全446字）
形式	PDFファイル形式　（463kb）
雑誌掲載位置	172ページ目

「ＭＸ５１」は，暗視野観察性能などの光学特性を高めた工業用顕微鏡。素材や電子部品の検査向け。特に１５０ｍｍ以下の半導体ウエハーや磁気ヘッドの検査に有効という。　暗視野観察は，透過光や反射光ではなく，散乱光を集めることで対象物を観察する手法。照明光が直接対物レンズに入らないので，微細なキズまで検出できるが，視野全体の明るさを確保するのが難しくなる。ＭＸ５１では，この暗視野観察性能を従来モデル「同４０…