新製品・ピックアップ 加速度センサ〜検出精度を２倍に高める
日経ものづくり 第587号 2003.8.1
| 掲載誌 | 日経ものづくり 第587号（2003.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全205字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （203kb） |
| 雑誌掲載位置 | 33ページ目 |
三菱電機は，検出精度に優れる加速度センサ「ＭＡＳ１３９０Ｐ」のサンプル出荷を開始した。液晶プロジェクタの画像補正やカーナビの高低位置検知システムなどに適する。シリコンの単結晶でできた基板に直接ドライエッチングすることで，電極などの加工精度を高めた。その結果，加速度の検出精度が従来の２倍に向上した。価格は１５００円。■ 連絡先 … 半導体資料室ＴＥＬ ： ０３−３２１８−９４５０■ 資料請求番号 …
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