新製品・ピックアップ 精密位置〜最高レベルのクリーン度を達成
日経ものづくり 第586号 2003.7.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第586号(2003.7.1) |
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ページ数 | 1ページ (全209字) |
形式 | PDFファイル形式 (177kb) |
雑誌掲載位置 | 32ページ目 |
日本トムソンは,半導体や液晶製造関連装置向けに,クリーン度クラス2という低発塵特性を持つ精密位置決めテーブル「TC」シリーズを発売した。各部のすき間を極限まで絞り込み,開口部を2カ所から1カ所に減らすことで,最高レベルのクリーン度を達成した。幅寸法は30,40,50,60mm。価格は,TC30USで19万円から。■ 連絡先 … 営業部■ 連絡先 … TEL : 03−3448−5841■ 資料請…
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