新製品・ピックアップ　高精度自動〜静圧リニアガイドを採用
日経ものづくり　第580号　2003.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第580号（2003.1.1）
ページ数	1ページ　（全333字）
形式	PDFファイル形式　（84kb）
雑誌掲載位置	31ページ目

　シグマ光機は，静圧リニアガイドを採用した新しい高精度自動ステージ「メタルエアースライダ」と，ナノメートルオーダの精度を追求した自動ステージ「シグマ・ファイン・ステージシステム」の２機種を開発した。前者は２００２年１２月に発売。直動，回転と，その両方を組み合わせた動きをする。非接触であるため，騒音が４０ｄＢ（Ａ）以下と静かで，速度ムラが少ない。一方，後者はＸ，ＸＹ，Ｚ，ＸＹＺ，回転，ゴニオの６種類…