新製品・ピックアップ 超精密位置決め装置〜300mmウエハ用装置に対応
日経ものづくり 第578号 2002.11.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第578号(2002.11.1) |
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ページ数 | 1ページ (全674字) |
形式 | PDFファイル形式 (65kb) |
雑誌掲載位置 | 40ページ目 |
住友重機械工業は半導体製造・検査装置用に停止安定性がナノオーダの位置決め装置「MODEL SLHUS−330」を発売した。リニアモータ,空気軸受,外乱オブザーバ,アクティブ・ヨーコントロールといった「MODEL SLHUS−370」(日経メカニカル2001年4月号の特集「機械技術・日本の世界一」で紹介)と共通のテクノロジーを使った「Nanoplane」シリーズに属する。最高スペックを求めた「37…
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