新製品・ピックアップ　電子顕微鏡〜０．１４ｎｍの分解能と２０００万倍の性能
日経ものづくり　第568号　2002.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第568号（2002.1.1）
ページ数	1ページ　（全223字）
形式	PDFファイル形式　（81kb）
雑誌掲載位置	32ページ目

　日本電子は，走査透過像（ＳＴＥＭ），走査２次電子像（ＳＥＭ），透過像（ＴＥＭ）の複合観察が可能なナノ解析電子顕微鏡「ＪＥＭ−２５００ＳＥ」を発売。半導体やナノテクノロジー分野の観察・評価・欠陥検査向け。ＥＤＳ（エネルギ分散Ｘ線分光），ＥＥＬＳ（電子エネルギ損失分光）を装着することで，さらにナノレベルの観察も可能。価格は２億５０００万円。■　連絡先　…　経営戦略室■　連絡先　…　ＦＡＸ　：　０４２…