トピックス・テクノロジ 〜住友重機械工業
日経ものづくり 第560号 2001.5.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第560号(2001.5.1) |
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ページ数 | 1ページ (全803字) |
形式 | PDFファイル形式 (333kb) |
雑誌掲載位置 | 67ページ目 |
住友重機械工業は停止位置精度0.1nmの位置決め装置「MODEL SLHUS−370」(図)を開発した。半導体や液晶の製造・検査装置のメーカーがこれを購入して組み込む。 エアベアリングで浮上させ,駆動はリニアモータというぜいたくな構成。ワークテーブルは3個のエアベアリングで支える。エアベアリングは平面度を出した石定盤の上を動く。これでZ軸を支持し,XY平面上を自由に動く。接触式では軸ごとに案内を…
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