トピックス・テクノロジ　〜日立，小型で安価な新発想のリニアモータを開発
日経ものづくり　第560号　2001.5.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第560号（2001.5.1）
ページ数	2ページ　（全2517字）
形式	PDFファイル形式　（333kb）
雑誌掲載位置	54〜55ページ目

　日立製作所日立研究所は，従来のリニアモータと比べて構造が簡単で大幅なコストダウンが期待できる直線駆動装置「トンネルアクチュエータ」を開発した（図１）。主な特徴は，（１）１相当たり１個の電機子巻線で多極化できる（２）電機子と可動子の間に働く磁気吸引力を相殺し，リニアベアリングなど案内支持機構を簡素化できる−の２点。半導体製造現場で用いるリニアモータと比較した場合，出力が同じで大きさは約１／３に，製…