MAP Focus〜精度±10nm以下の精密位置決め装置
日経ものづくり 第557号 2001.2.1
掲載誌 | 日経ものづくり 第557号(2001.2.1) |
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ページ数 | 1ページ (全793字) |
形式 | PDFファイル形式 (71kb) |
雑誌掲載位置 | 65ページ目 |
「Nanoplane MODEL SLHUS−370」は,停止時の繰り返し位置決め精度±10nm以下と高精度で高速駆動を実現した超精密XYテーブル。次世代の液晶・半導体製造用の露光装置や検査装置向け。最高速度は300mm/sと従来品に比べて2.5倍にまで高速化した。エア軸受けと独自開発のリニアモータ駆動による完全非接触駆動方式の採用によって,初期の性能を維持すると同時に静音化を実現し,発塵(はつ…
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