メカニズム解剖〜寿命の長いゲートバルブ
日経ものづくり 第555号 2000.12.1
| 掲載誌 | 日経ものづくり 第555号（2000.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 3ページ （全2472字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （120kb） |
| 雑誌掲載位置 | 58〜60ページ目 |
Ｄｒ．Ｃａｒｌ Ｒｉｃｈａｒｄｓｏｎ「英Ｔｈｅｍｏ Ｖａｃｕｕｍ Ｇｅｎｅｒａｔｏｒｓ社 Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｄｉｒｅｃｔｏｒ右のイラストをご覧いただきたい。小振りのギロチン…ではない。真空プロセスで使うゲートバルブだ。真空配管を開閉するバルブ（図１）としても，真空容器からワークを出し入れするドアとしても使う。英Ｔｈｅｍｏ Ｖａｃｕｕｍ Ｇｅｎｅｒａｔｏｒｓ社が開発・生産し，国内では丸文が販売する…
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