トピックス・テクノロジ 〜ＪＦＣＣ，カーボン・ナノチューブの高密度作製にメド
日経ものづくり 第553号 2000.10.1
| 掲載誌 | 日経ものづくり 第553号（2000.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1228字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （201kb） |
| 雑誌掲載位置 | 74ページ目 |
財団法人ファインセラミックスセンター（ＪＦＣＣ）は，炭化ケイ素（ＳｉＣ）単結晶ウエハ（直径約５０ｍｍ）表面全面に，高い配向性と均一性を持つカーボン・ナノチューブを１ｍｍ２当たり３００億本と高密度に作製する技術にメドをつけた。 真空度１０−２Ｐａの真空炉内で１７００℃・３０分加熱すると，結晶構造が六方晶最密格子（ＨＣＰ）系のα型炭化ケイ素のウエハ表面に直径３ｎｍ，長さ０．２〜０．３μｍのカーボン・…
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