特集 機械技術を拓くキーワード２１〜医療，加工・組み立て分野で実用化を目指す
日経ものづくり 第547号 2000.4.1
| 掲載誌 | 日経ものづくり 第547号（2000.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1415字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （46kb） |
| 雑誌掲載位置 | 48ページ目 |
手のひらサイズの使える機械 従来では考えられないほど小さな装置や機械−。マイクロマシンをあえて定義するとこうなる。定量的でない，極めてあいまいな表現になるのは，正確な定義がないためだ。 これは結局，半導体を製造する際のフォトリソグラフィなどの超微細加工技術を使い，シリコン基板に直径や厚さがμｍオーダーの歯車やリンク機構などを作成して話題となった１５年ほど前の初期段階のマイクロマシンと，実用化をにら…
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