ＭＡＰ　Ｆｏｃｕｓ〜±１μｍと高精度な位置決め装置
日経ものづくり　第547号　2000.4.1

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掲載誌	日経ものづくり　第547号（2000.4.1）
ページ数	1ページ　（全673字）
形式	PDFファイル形式　（67kb）
雑誌掲載位置	71ページ目

　「ナノムーバー」は，位置決め精度±１μｍ，繰り返し位置決め精度±１００ｎｍと高い精度を持つ位置決め装置。光学機器や医療機器などに組み込んだり，これらの機器を製造する際の位置合わせや組み立てなどに使うことができる。　新しい位置決め精度は，アクチュエータ「ナノムーバーアクチュエータ」，ステージ「トランスレーションステージ」，コントローラ「ナノムーバーコントロールシステム」の三つから成る。このうち，高…