トピックス・テクノロジ 〜農工大，音圧が高く周波数帯域が広い超音波素子を開発
日経ものづくり 第541号 1999.10.1
| 掲載誌 | 日経ものづくり 第541号（1999.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2389字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （297kb） |
| 雑誌掲載位置 | 56〜57ページ目 |
東京農工大学は，全く新しい原理を用いた超音波素子の開発に成功した（図１）。新超音波素子は，多孔質シリコンの上に薄膜状の金属電極を形成したもの。普通の超音波素子のような振動板はなく，金属電極に電流を与えて，ジュール熱で前の空気を膨張させて強力な超音波を出す。（１）音圧が従来より高い（２）１ＧＨｚまで平坦な周波数特性を示す（３）超音波発生能力を落とさずに，一つの基板上に超音波素子を多数配列するアレイ…
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