ＭＡＰ Ｆｏｃｕｓ〜コンパクトなＰＦＣガス分解除去装置
日経ものづくり 第539号 1999.8.1
| 掲載誌 | 日経ものづくり 第539号（1999.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全755字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （182kb） |
| 雑誌掲載位置 | 110ページ目 |
ランドマークテクノロジー資料請求番号 Ａ０５ 「Ｌｉｔｍａｓ Ｂｌｕｅ（リトマスブルー）１２００」は，プラズマを用いてＰＦＣ（パーフルオロカーボン＝炭化水素の水素をすべてフッ素で置換した化合物）ガスを分解し，除去する装置。半導体やＬＣＤ（液晶ディスプレイ）の製造におけるエッチングやＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ，化学気相成長）などで使用するＰＦＣガスを分解，除去する。そ…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全755字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
ＭＡＰ Ｆｏｃｕｓ〜高速化し段取り時間も短縮したＭＣ
ＭＡＰ Ｆｏｃｕｓ〜高速化し切粉処理能力も高めたＭＣ
ＭＡＰ Ｆｏｃｕｓ〜直径６ｍｍブラシレスＤＣサーボモータ
ＭＡＰ Ｆｏｃｕｓ〜削りやすく錆びにくい金型鋼を発表
ＭＡＰ Ｆｏｃｕｓ〜ＮＵＲＢＳ制御を強化した３次元ＣＡＤ
