ＭＡＰ　Ｆｏｃｕｓ〜加速度センサの感度を４倍に
日経ものづくり　第539号　1999.8.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第539号（1999.8.1）
ページ数	2ページ　（全1362字）
形式	PDFファイル形式　（182kb）
雑誌掲載位置	104〜105ページ目

松下電子部品資料請求番号　Ａ０１　松下電子部品と松下電器産業は共同で，感度を従来の４倍に向上させた加速度センサ「マイクロ加速度センサ」を開発，サンプル出荷を開始した（図１）。機械や設備の異常振動の検出器などを中心に用途を開拓する。　図２（ａ）が新しい加速度センサの構造。張り合わせた２枚の素子でできた片持ちはりだ。加速度を受けると素子がたわんで電荷を発生，それを電圧として検出し加速度を測定する。新し…