トピックス・プロダクト 〜分解能が５μｍと高い 非接触の超音波変位計
日経ものづくり 第536号 1999.5.1
| 掲載誌 | 日経ものづくり 第536号（1999.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全397字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （122kb） |
| 雑誌掲載位置 | 77ページ目 |
「ＨＵＳ２０ＡＷ」は分解能が５μｍと高い，非接触の超音波変位計。一般には超音波の周波数を上げることで分解能を高めることができるが，空気中での減衰が大きいので，減衰の影響が小さい上限と言われる４００ＭＨｚの周波数を同製品では使う。周波数４００ＭＨｚの超音波の波長は約０．８ｍｍと大きいが，波長の位相まで検出することで波長以下の分解能の５μｍで測定できる。 プローブを測定面に密着させる必要がないので，液…
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