トピックス・プロダクト 〜分解能０．０４％ 渦電流式変位センサ
日経ものづくり 第536号 1999.5.1
| 掲載誌 | 日経ものづくり 第536号（1999.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全369字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （122kb） |
| 雑誌掲載位置 | 73ページ目 |
「ＧＰ−Ａ」シリーズは，微小変位を精度良くアナログ測定する渦電流式変位センサ。分解能はフルスケールの０．０４％，直線性は±０．５％。半導体製造装置のような高精度の位置決めや振れの制御に使える。 同センサは，センサヘッドと小型（幅５３×高さ９０×奥行き６７ｍｍ）アンプからなる。センサヘッドは，１ｍｍ検出用には直径５．４ｍｍの円柱型を，２ｍｍ検出用には同８ｍｍの円柱型とＭ１０ｍｍのねじ型を用意。用途や…
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