トピックス・テクノロジ　〜松下技研，酸化物系の透明導電性薄膜の作製にメド
日経ものづくり　第533号　1999.2.1

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掲載誌	日経ものづくり　第533号（1999.2.1）
ページ数	2ページ　（全2569字）
形式	PDFファイル形式　（257kb）
雑誌掲載位置	50〜51ページ目

　松下技研（本社川崎市）超機構研究所は，パルスレーザを利用した物質堆積（たいせき）法によって，可視光の透過率が９０％以上と透明性が高く，電気伝導度の高い酸化インジウム結晶薄膜を作製する技術にメドをつけた。　同研究所が研究開発を進めているケイ素（シリコン）微粒子を用いる，次世代の可視光発光素子の透明導電性電極層に適用する計画である。　同研究所は，ヘリウムなどの希ガス雰囲気中でエキシマパルスレーザをシ…