トピックス・プロダクト 〜感度と応答性が高い 質量流量コントローラ
日経ものづくり 第532号 1999.1.1
| 掲載誌 | 日経ものづくり 第532号（1999.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全395字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （98kb） |
| 雑誌掲載位置 | 58ページ目 |
「ＣＭＱシリーズ」は質量流量センサと比例ソレノイドバルブを組み合わせたコントローラ。おもなターゲット市場は窯業で，蛍光灯や電球，ブラウン管に使うガラス管の封止（加熱溶着）である。従来は質量流量を制御できず，パージメータと圧力計を見ながら手動でバルブの開度を調整していた。 ■手動にせざるを得なかったのは，感度と追従性に対応できなかったため。新しく開発したコントローラを使うと，バーナの可燃ガスと空気…
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