トピックス・プロダクト　〜繰り返し位置決め精度に優れる直動アクチュエータ
日経ものづくり　第532号　1999.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経ものづくり　第532号（1999.1.1）
ページ数	1ページ　（全364字）
形式	PDFファイル形式　（98kb）
雑誌掲載位置	55ページ目

　「リニアアクチュエータ」シリーズは，角度伝達精度に優れる減速機「ハーモニックドライブ」と精密ねじを組み合わせることで，繰り返し位置決め精度をμｍオーダーにした減速機付き直動アクチュエータ。同シリーズに最大推力３０００Ｎタイプが加わった。搭載したモータはＡＣサーボモータ，ステッピングモータの２種類。両者ともに１ｍｍストロークの繰り返し位置決め精度が±１μｍと小さい。液晶製造装置，精密検査，電子機器…