Ｈｏｔ　Ｎｅｗｓ〜加湿器の原理で薄膜形成　ニコンと東北大が開発
日経エレクトロニクス　第1231号　2021.9.1

この記事の情報
掲載誌	日経エレクトロニクス　第1231号（2021.9.1）
ページ数	2ページ　（全2296字）
形式	PDFファイル形式　（808kb）
雑誌掲載位置	10〜11ページ目

　ニコンと東北大学多元物質科学研究所教授の蟹江澄志氏は「ミストデポジション法」と呼ぶ新しい製膜法を考案した。この新製膜法は、従来技術の１つであるスパッタ法よりも消費エネルギーを減らせて、かつ樹脂などの耐熱性が低い基板に製膜できる。　新しい製膜法の手順はこうだ（図１）。まず、粒径数十ｎｍ程度の原料粒子を室温の水に分散させて溶液を得る。続いて、その溶液に数ＭＨｚの超音波を印加して直径５μｍ程度の霧（ミ…