Ｎｅｗｓ　Ｒａｎｋｉｎｇ　Ｓｅｐ．２０１５〜デバイス
日経エレクトロニクス　第1161号　2015.11.1

１シリコンを塗布・印刷する　従来の真空技術やフォトリソグラフィー技術を駆使した方法に取って代わる新しい製造技術「グリーンプロセス」に関する研究発表が、「第７６回応用物理学会秋季学術講演会」（２０１５年９月１３〜１６日、名古屋国際会議場）で相次いだ。グリーンプロセス関連のシンポジウム「液体シリコンの科学と最新動向」では、７件の招待講演と一般講演が行われた。液状材料の「液体シリコン（液体Ｓｉ）」は、塗…