ＮＥセミナー　ＳＥＬＥＣＴＩＯＮ〜最終回　半導体技術の進化は止まらない　コラボレーションを原動力に
日経エレクトロニクス　第1088号　2012.8.6

自らが製造する半導体のボリュームは多くないものの、半導体業界で大きな存在感を示しているのが、米ＩＢＭ社である。ＣＭＯＳプロセス技術の開発において、同社は世界の先頭集団を走っている。世界の名だたる半導体メーカーや製造装置メーカー、材料メーカーとの協業（コラボレーション）がその原動力だ。フィンＦＥＴやＥＵＶリソグラフィ、３次元パッケージングなど、２０１０年代に求められる次世代半導体技術への取り組みを同…