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NEレポート〜異なる結晶構造を採用し SiC MOSFETを安く高性能に
日経エレクトロニクス 第1070号 2011.11.28
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第1070号(2011.11.28) |
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ページ数 | 1ページ (全1135字) |
形式 | PDFファイル形式 (299kb) |
雑誌掲載位置 | 17ページ目 |
3C型SiCを使ったMOSFETを基板上に作製(写真:HOYA) パワー半導体材料として、Siよりも特性が優れるSiC。ダイオードが徐々に利用され始め、2010年にはMOSFETが製品化された。だが、SiC製MOSFETはSi製IGBTよりも電力損失が小さい、高速なスイッチングが可能、耐熱性が高いなどの特徴を備えるものの、二つの課題がある。 一つはSiC基板が高価であること、もう一つはチャネル移動…
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