キーワード〜ＭＥＭＳセンサ［ ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ ｓｅｎｓｏｒ ］
日経エレクトロニクス 第975号 2008.4.7
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第975号（2008.4.7） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1299字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （216kb） |
| 雑誌掲載位置 | 41ページ目 |
ＭＥＭＳセンサとは，半導体の微細加工技術を応用して作ったセンサのことである。代表例である加速度センサが任天堂のゲーム機「Ｗｉｉ」のコントローラに，角速度センサ（ジャイロ・センサ）がデジタル・カメラの手振れ補正に，Ｓｉマイクがノート・パソコンにそれぞれ応用されるなど，民生機器での応用が急拡大している。ＭＥＭＳセンサは，従来のセンサと比較して欠点が少なく，扱いやすさと，特性面の潜在能力の高さが抜きん…
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