ＮＥＴｓ シャープ福山工場〜工場見学レポート●シャープ福山工場 半導体排水の窒素を無希釈で除去
日経エレクトロニクス 第930号 2006.7.17
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第930号（2006.7.17） |
|---|---|
| ページ数 | 5ページ （全4586字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （650kb） |
| 雑誌掲載位置 | 144〜148ページ目 |
シャープは，ＬＳＩの製造工程で排出される窒素含有排水を無希釈で処理する技術を開発し，２００６年７月に処理プラントの稼働を始めた。稼働直前に報道関係者に公開されたプラントの様子とともに，半導体の生産を陰で支える排水処理の最新技術を紹介する。 瀬戸内海に面した広島県福山市にある，シャープの福山工場。操業を始めて２１年がたったこの半導体製造工場で，２００６年７月から微生物を使って排水中の窒素を無希釈で９…
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