Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ レーザ変位計〜分解能が２０ｐｍ，ＭＥＭＳ開発に向ける
日経エレクトロニクス 第924号 2006.4.24
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第924号（2006.4.24） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全397字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （297kb） |
| 雑誌掲載位置 | 46ページ目 |
レーザ変位計岩通計測 岩通計測は分解能が２０ｐｍと小さいレーザ変位計「ＳＴ−３７６１」を発売した。圧電素子やＨＤＤの周辺部品など，微小な変位を伴う制御状況を観察するために用いる。周波数がわずかに異なる信号光と参照光による光の干渉を検出するヘテロダイン方式を採用する。干渉を利用するので，外部からの光の影響を受けにくいという。最高分解能は測定レンジ０．１μｍ／Ｖの場合に２０ｐｍ。レーザ光の直径は５０μ…
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