特集 IBM,半導体の勝算〜第2部<技術の検証> 2010年まで抜かりなし 新たな一手に強い自信
日経エレクトロニクス 第905号 2005.8.1
掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第905号(2005.8.1) |
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ページ数 | 8ページ (全13114字) |
形式 | PDFファイル形式 (540kb) |
雑誌掲載位置 | 87〜94ページ目 |
1997年発表のCu配線や,1998年のSOI技術,そして2001年のひずみSi…。過去10年間に米IBM Corp.が実用化を宣言したCMOS技術は常に衝撃的だった。微細化だけでは電気特性を高められなくなったCMOSでは,同社が世に出してきたような突出した技術が必要不可欠になる。半導体の主要な学会における同社の発表件数は10年で約4倍になるなど,新しい技術を研究し,いち早く実用化しようという姿勢…
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