Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜蛍光Ｘ線分析装置 液体窒素方式と同等の感度を実現
日経エレクトロニクス 第881号 2004.8.30
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第881号（2004.8.30） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全276字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （49kb） |
| 雑誌掲載位置 | 57ページ目 |
堀場製作所は，ＲｏＨＳ指令で規制する化学物質の検査専用機として，液体窒素で冷却する方式と同等の感度を備えた蛍光Ｘ線分析装置を開発した。冷凍機にＨｅガスを利用することで，液体窒素を使わない他の方式に比べて約５倍〜２０倍の感度と，約１０倍の検査速度を実現した。ＲｏＨＳ指令対応の部品開発向けに「ＸＧＴ−５１００ＷＲ」を，生産ライン向けに「ＸＧＴ−１１００ＷＲ」を設定する。ＴＥＬ（０１２０）３７−６０４５…
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